[发明专利]设备及利用发光二极管加热的静电夹具

权利要求书

1.一种设备，其特征在于，包括：

密封壳体，其含有包括多个发光二极管的电路，其中所述密封壳体的顶部表面包括静电夹具，其中所述密封壳体包含具有由侧壁界定的凹部的基底，且所述电路安置在所述凹部，且其中发光二极管的光能被配置成直接加热设置在所述静电夹具上的衬底，其中所述静电夹具安置在所述侧壁的顶部上。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述静电夹具包括：

内部层，其与所述密封壳体通信；

顶部电介质层；以及

电极，其安置于所述内部层与所述顶部电介质层之间。

3.根据权利要求1所述的设备，其中密封壳体用囊封物填充以移除空气。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述多个发光二极管在0.4与1.0微米之间的波长处发光。

5.一种利用发光二极管加热的静电夹具，其特征在于，包括：

基底，其具有由侧壁界定的凹部；

电路，其包括安置在所述凹部中的多个发光二极管；

内部层，其安置在所述侧壁的顶部上且覆盖所述凹部；

顶部电介质层；以及

电极，其安置于所述内部层与所述顶部电介质层之间，其中所述内部层和所述顶部电介质层在由所述多个发光二极管发射的波长处为透明的，使得来自发光二极管的光能被配置成直接加热设置在所述顶部电介质层上的衬底，使得所述衬底被加热到比所述静电夹具更高的温度。

6.根据权利要求5所述的静电夹具，其中所述电路包括印刷电路板，且所述印刷电路板与所述凹部的上表面热连通。

7.根据权利要求5所述的静电夹具，其中所述电路包括绝缘迹线和导电迹线，其中所述绝缘迹线直接施加到所述凹部的上表面，所述导电迹线施加在所述绝缘迹线的顶部上，且所述导电迹线与所述多个发光二极管电连通。

8.根据权利要求5所述的静电夹具，其进一步包括填充所述凹部的剩余体积的囊封物。

9.根据权利要求8所述的静电夹具，其中所述囊封物在由所述多个发光二极管发射的所述波长处为透明的。

10.根据权利要求9所述的静电夹具，其中所述囊封物含有硅。

11.根据权利要求5所述的静电夹具，其中所述多个发光二极管布置为同心圆的图案，其中距所述图案的中心较远安置的同心圆比距所述图案的所述中心较近安置的同心圆具有更多发光二极管。

12.根据权利要求5所述的静电夹具，其包括通过所述顶部电介质层、所述内部层和所述基底的导管，所述导管与气体源成流体连通以允许将气体引入到所述顶部电介质层与安置在所述静电夹具上的衬底的底侧之间的体积。

13.根据权利要求5所述的静电夹具，其中所述电极形成为网状，使得所述电极占据所述内部层的表面的小于25％。

14.根据权利要求5所述的静电夹具，其中所述电极使用在由所述多个发光二极管发射的所述波长处为透明的材料形成。

15.根据权利要求5所述的静电夹具，其中所述多个发光二极管在0.4与1.0微米之间的波长处发光。