[发明专利]干涉式测量布置有效
| 申请号： | 201680029734.X | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107646087B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | J.赫茨勒;S.富克斯;H-M.斯蒂潘;K-H.舒斯特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02;G02B5/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及干涉式地确定被测装置(14)的表面(12)的形状的测量布置(10)。所述测量布置(10)包括提供输入波(18)的光源(16)和衍射光学元件(24)。衍射光学元件(24)适当地设计为从输入波(18)通过衍射分别产生测试波(26)和参考波(28)，该测试波指向被测装置(14)并且具有至少部分适配于光学表面(12)的期望的形状的波前。所述测量布置(10)还包含用于参考波(28)的背向反射的反射光学元件(30)、以及在捕获平面(48)中捕获干涉图的捕获装置(36)，该干涉图由与被测装置(14)相互作用后的测试波(26)和反射的参考波(28)分别在所述衍射光学元件(24)处的另一次衍射之后的叠加产生。本发明还涉及确定被测装置(14)的表面形状的相应方法。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 测量 布置 | ||
【主权项】：
测量布置，所述测量布置干涉式地确定测试对象的表面的形状，所述测量布置包括：‑光源，所述光源提供输入波；‑衍射光学元件，所述衍射光学元件布置在所述输入波的束路径中，并且被适当地配置为通过衍射从所述输入波分别产生测试波和参考波，所述测试波指向所述测试对象并且具有至少部分适配于所述光学表面的期望形状的波前，并且所述参考波具有偏离所述测试波的传播方向的传播方向；‑反射光学元件，所述反射光学元件布置在所述参考波的束路径中，并且配置为用于所述参考波的背向反射。‑捕获装置，其在捕获平面中捕获干涉图，该干涉图由与所述测试对象相互作用后的所述测试波和所述背向反射的参考波分别在所述衍射光学元件处的进一步衍射后的叠加而产生。
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