[发明专利]脉冲光束的光谱特征量测有效
| 申请号： | 201680029516.6 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107615020B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | J·J·索内斯 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J3/28;G01J11/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种量测系统，包括：光学频率分离装置，其处于脉冲光束的路径中并且被配置为与脉冲光束相互作用并且输出对应于脉冲光束的光谱分量的多个空间分量；接收并感测输出空间分量的多个感测区域；以及连接到每个感测区域的输出的控制系统。控制系统被配置为：针对每个感测区域的输出，测量来自光学频率分离装置针对一个或多个脉冲的所输出的空间分量的属性；分析所测量的属性，包括对所测量的属性进行平均来计算脉冲光束的光谱特征的估计；以及确定脉冲光束的估计光谱特征是否在光谱特征值的可接受范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 光束 光谱 特征 | ||
【主权项】：
一种用于测量脉冲光束的光谱特征的量测系统，所述系统包括：光学频率分离装置，在所述脉冲光束的路径中并且被配置为与所述脉冲光束相互作用并输出对应于所述脉冲光束的光谱分量的多个空间分量；多个感测区域，接收并感测所输出的空间分量；以及控制系统，被连接到每个感测区域的输出并被配置为：针对每个感测区域的输出，测量来自所述光学频率分离装置针对一个或多个脉冲的所输出的空间分量的属性；分析所测量的属性，包括对所测量的属性进行平均以计算所述脉冲光束的所述光谱特征的估计；以及确定所述脉冲光束的所估计的光谱特征是否在光谱特征值的可接受范围内。
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