[发明专利]脉冲光束的光谱特征量测

权利要求书

1.一种用于测量脉冲光束的光谱特征的量测系统，其中所述光谱特征是所述脉冲光束的光谱的方面，所述量测系统包括：

单个标准具，在所述脉冲光束的路径中并且被配置为与所述脉冲光束相互作用并输出对应于所述脉冲光束的光谱分量的多个空间分量的一组同心环的形状的干涉图案，其中所述单个标准具包括彼此面对并且分隔开恒定距离的单个对的平行反射表面；

多个传感器，接收并感测所述干涉图案，其中所述多个传感器中的每个传感器被设置为沿着不同的感测轴线跨多个环延伸并且仅与所述干涉图案的一部分相互作用；以及

控制系统，被连接到每个传感器的输出并被配置为：

针对每个传感器的输出，测量来自所述标准具针对一个或多个脉冲的所输出的空间分量的属性；

分析所测量的属性，包括对所测量的属性进行平均以计算所述脉冲光束的所述光谱特征的估计；以及

确定所述脉冲光束的所估计的光谱特征是否在光谱特征值的可接受范围内。

2.根据权利要求1所述的系统，进一步包括在所述光束的路径中的分束器，其中所述分束器：

将第一百分比的所述光束引导朝向所述标准具，并且

将第二百分比的所述光束沿所述光束的路径引导。

3.根据权利要求1所述的系统，其中每个传感器具有与所述多个传感器中的其他传感器相同的性能参数。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述光谱特征是所述脉冲光束的带宽。

5.根据权利要求1所述的系统，还包括光学连接到所述脉冲光束的光谱特征选择系统，其中：

所述控制系统被连接到所述光谱特征选择系统；并且

如果所述控制系统确定所述脉冲光束的所估计的光谱特征在所述可接受范围之外，则所述控制系统被配置为向所述光谱特征选择系统发送调整信号，以修改所述脉冲光束的所述光谱特征。

6.根据权利要求1所述的系统，其中一个或多个脉冲的范围是单个脉冲。

7.根据权利要求1所述的系统，其中对所测量的属性进行平均包括确定所测量的属性中的哪一个是所述光谱特征的最准确表示，并且计算所述脉冲光束的所述光谱特征包括选择最准确地表示所述光谱特征的所测量的属性。

8.根据权利要求1所述的系统，其中：

所述控制系统被配置为确定所测量的属性中的哪些落入目标值范围内，并且

通过对仅落在所述目标值范围内的那些所测量的属性进行平均，所述控制系统对所测量的属性进行平均来计算估计。

9.根据权利要求1所述的系统，其中对所测量的属性进行平均包括对所测量的属性执行加权平均，并且计算所述脉冲光束的所述光谱特征的所述估计包括选择所述加权平均作为所述光谱特征估计。

10.根据权利要求1所述的系统，其中每个传感器是接收一个或多个整体光谱分量的单个传感器的一部分。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个传感器中的每一个传感器定义垂直于所输出的空间分量的方向的感测轴线。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个传感器中的每一个传感器形成在单个传感器的不同位置处，所述单个传感器被放置在所述标准具的输出处。

13.根据权利要求1所述的系统，其中彼此面对的单个对的平行反射表面形成在一对光学平面上。

14.根据权利要求1所述的系统，其中彼此面对的所述单个对的平行反射表面形成在单个板上。