[发明专利]使用具有低吸收特性的激光波长来移除透明材料的方法在审
| 申请号： | 201680027345.3 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN107624086A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·L·富兰克林 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B23K26/361 | 分类号： | B23K26/361 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 依据实施方式，一种选择性剥蚀覆盖器件的金属层的光学透明材料的方法可以包含以下步骤在金属层上提供光学透明材料层；以及使用失焦或成形激光束照射所述光学透明材料层的一部分及剥蚀所述光学透明材料层的所述部分；其中所述剥蚀让所述金属层完全未受损伤，并且其中所述激光具有在355nm至1070nm范围内的波长，并且其中来自所述激光束的激光单次通过所述光学透明材料层时所述光学透明材料层吸收少于或等于50％的所述激光。还描述用于激光剥蚀金属层上的透明材料层同时让所述金属层完全未受损伤的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 具有 吸收 特性 激光 波长 透明 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种选择性剥蚀光学透明材料的方法，所述光学透明材料覆盖器件的金属层，所述方法包含以下步骤：在金属层上提供光学透明材料层；以及使用失焦激光束照射所述光学透明材料层的一部分及剥蚀所述光学透明材料层的所述部分；其中所述剥蚀让所述金属层完全未受损伤，并且其中所述激光具有在355nm至1070nm范围内的波长。
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