[发明专利]在逻辑芯片中基于电压对比的错误及缺陷推导有效
| 申请号： | 201680025510.1 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107533103B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | B·达菲 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/305 | 分类号： | G01R31/305;G01R31/307 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示一种电压对比成像缺陷检测系统，其包含电压对比成像工具及耦合到所述电压对比成像工具的控制器。所述控制器经配置以：针对样本上的一或多个结构产生一或多个电压对比成像度量；基于所述一或多个电压对比成像度量而确定所述样本上的一或多个目标区域；从所述电压对比成像工具接收所述样本上的所述一或多个目标区域的电压对比成像数据集；以及基于所述电压对比成像数据集而检测一或多个缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 逻辑 芯片 基于 电压 对比 错误 缺陷 推导 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680025510.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：变扭器
- 下一篇：入口混合元件和相关的静态混合器以及混合的方法
