[发明专利]具有高品质因数的MEMS谐振器有效
| 申请号： | 201680025459.4 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107534430B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 维莱·卡亚卡里 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;马晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种具有高品质因数的对称MEMS谐振器。该MEMS谐振器包括具有顶表面和与顶表面相对的底表面的硅层。一对第一金属层设置在硅层的顶表面上方，并且对应的一对第二金属层相对于一对第一金属层对称地设置在硅层的第二表面下方。此外，第一压电层布置在一对第一金属层之间，并且第二压电层布置在一对第二金属层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 品质因数 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种MEMS谐振器，包括：硅层，其具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面；布置在所述硅层的所述第一表面上方的至少一个金属层和布置在所述硅层的所述第二表面下方的至少一个对应的金属层；以及布置在所述硅层的所述第一表面上方的压电层和布置在所述硅层的所述第二表面下方的对应的压电层。
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