[发明专利]线栅起偏器的氧化和水分屏障层有效
| 申请号： | 201680018879.X | 申请日： | 2016-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107533172B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | T·旺根斯滕;S·尼尔森;F·莱恩;M·林福德;A·迪万 | 申请（专利权）人： | 莫克斯泰克公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/14;G02B1/04;C23C16/30;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/40;B05D1/00;B05D5/08;C09D5/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 李颖;林柏楠 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 线栅起偏器(WGP)(10)可具有共形涂层(13)以保护WGP(10)免于氧化和/或腐蚀。共形涂层(13)可包括具有氧化铝、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、氧化铪和氧化锆中的至少一种的屏障层。制造WGP(10)的方法可包括通过气相沉积将屏障层施加至WGP(10)的肋(12)上。 | ||
| 搜索关键词： | 线栅起偏器 氧化 水分 屏障 | ||
【主权项】：
一种线栅起偏器(WGP)，包括：a.位于透明衬底表面上的肋，其中所述肋是细长的并且设置成基本上平行的阵列；b.处于至少一部分肋之间的间隙；和c.位于所述肋之上的共形涂层，其中所述共形涂层包括屏障层，所述屏障层包含氧化铝、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、氧化铪、氧化锆和稀土氧化物中的至少一种。
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