[发明专利]抗蚀剂图案被覆用涂布液及图案的形成方法有效
| 申请号： | 201680018377.7 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN107430355B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 西田登喜雄;坂本力丸 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 马妮楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本申请的课题在于提供一种新的抗蚀剂图案被覆用涂布液。作为解决本发明课题的手段为一种抗蚀剂图案被覆用涂布液，其包含：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物，下述式(2)所示的伯胺、仲胺或叔胺，以及能够溶解上述聚合物和胺的下述式(3)所示的酯。[(式(1)中，R |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 图案 被覆 用涂布液 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂图案被覆用涂布液，其包含：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物，下述式(2)所示的伯胺、仲胺或叔胺，以及能够溶解所述聚合物和胺的下述式(3)所示的酯，式(1)中，R1表示氢原子或甲基，L表示可以具有至少1个取代基的二价的芳香族基团、‑C(＝O)‑O‑基或‑C(＝O)‑NH‑基，该‑C(＝O)‑O‑基或‑C(＝O)‑NH‑基的碳原子与聚合物的主链结合，X表示氢原子、或者碳原子数1～10的直链状或支链状的烷基或烷氧基，该烷基中的至少1个氢原子可以被卤原子或羟基取代，式(2)中，R2、R3和R4各自独立地表示氢原子、羟基、或者碳原子数1～16的直链状、支链状或环状的有机基团，式(3)中，R5和R6各自独立地表示碳原子数1～16的直链状或支链状的有机基团。
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