[发明专利]新型硅氧烷聚合物组合物及其用途在审

专利信息
申请号: 201680015423.8 申请日: 2016-03-17
公开(公告)号: CN107636097A 公开(公告)日: 2018-01-26
发明(设计)人: A·凯尔凯宁;M·汉努-库雷;A·哈季奇;J·莱沃;H·耶尔维塔洛;R-L·库瓦亚;G·戈登;M·佩索宁 申请(专利权)人: 巴斯夫欧洲公司
主分类号: C09D183/14 分类号: C09D183/14;G03F7/038;G03F7/075;C08G77/52;C08G77/50;C08G77/20;C08G77/14
代理公司: 北京市中咨律师事务所11247 代理人: 王丹丹,刘金辉
地址: 德国路*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及硅氧烷聚合物组合物。本发明尤其涉及具有适合用于光刻制造方法中的性能的硅氧烷聚合物组合物。本发明还涉及该类组合物的合成、聚合和交联。
搜索关键词: 新型 硅氧烷 聚合物 组合 及其 用途
【主权项】:
一种生产硅氧烷聚合物组合物的方法,该方法包括如下步骤:(a)将至少四种不同的硅烷单体和至少一种二硅烷混入第一溶剂中而形成混合物,条件是所述硅烷单体中的至少一种或所述二硅烷包含能够实现与所述硅氧烷聚合物组合物的相邻硅氧烷聚合物链的交联的活性基团;(b)对所述混合物进行酸处理,从而至少部分水解硅烷单体,并且水解的硅烷单体、硅烷单体和所述二硅烷至少部分聚合和交联;(c)任选将第一溶剂改变为第二溶剂;以及(d)使所述混合物经历硅氧烷聚合物的进一步交联,实现预定的交联度。
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