[发明专利]氮化镓系烧结体和其制造方法有效
| 申请号： | 201680015322.0 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN107429383B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 召田雅实;仓持豪人 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/58;C30B29/38 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，制造低氧量、高密度、低电阻的氮化镓薄膜用溅射靶材。通过利用为含氧量少、体积密度高的粉末物性的氮化镓粉末，在高温、高真空下进行热压处理，从而可以制作低氧量且高密度、低电阻的氮化镓烧结体。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 烧结 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化镓系烧结体，其特征在于，含氧量为1atm％以下、电阻率为1×102Ω·cm以下。
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