[发明专利]用于气体传感器的制造方法和相应的气体传感器有效
| 申请号： | 201680014964.9 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN107407652B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | A·克劳斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体传感器，其具有衬底(7)；能加热的膜片(8)，该膜片构造在所述衬底(7)的衬底正面(16)上；至少三个电极(1、2、3；11；202；302；101、102、103)，所述电极布置在所述膜片(8)的膜片表面(13)上；第一覆层(4)，该第一覆层构造在所述膜片表面(13)的一个区域上，其中，所述至少三个电极(1、2、3；11；202；302；101、102、103)中的至少两个电极与所述第一覆层(4)接触；第二覆层(5)，该第二覆层至少部分地构造在所述第一覆层(4)上和所述膜片表面(13)的一个区域上，其中，所述至少三个电极(1、2、3；11；202；302；101、102、103)中的至少两个电极与所述第二覆层(5)接触，其中，与所述第二覆层(5)接触的至少两个电极中的至少一个电极不同于与所述第一覆层(4)接触的至少两个电极。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气体 传感器 制造 方法 相应 | ||
【主权项】：
气体传感器，所述气体传感器具有衬底(7)；能加热的膜片(8)，该膜片构造在所述衬底(7)的衬底正面(16)上；至少三个电极(1、2、3；11；202；302；101、102、103)，所述电极布置在所述膜片(8)的膜片表面(13)上；第一覆层(4)，该第一覆层构造在所述膜片表面(13)的一个区域上，其中，所述至少三个电极(1、2、3；11；202；302；101、102、103)中的至少两个电极与所述第一覆层(4)接触；第二覆层(5)，该第二覆层至少部分地构造在所述第一覆层(4)上和所述膜片表面(13)的一个区域上，其中，所述至少三个电极(1、2、3；11；202；302；101、102、103)中的至少两个电极与所述第二覆层(5)接触，其中，与所述第二覆层(5)接触的至少两个电极中的至少一个电极不同于与所述第一覆层(4)接触的至少两个电极。
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