[发明专利]用于气体传感器的制造方法和相应的气体传感器

权利要求书

1.气体传感器，所述气体传感器具有衬底（7）；能加热的膜片（8），该膜片构造在所述衬底（7）的衬底正面（16）上；至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103），所述电极布置在所述膜片（8）的膜片表面（13）上；第一覆层（4），该第一覆层构造在所述膜片表面（13）的一个区域上，其中，所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的至少两个电极与所述第一覆层（4）接触；第二覆层（5），该第二覆层至少部分地构造在所述第一覆层（4）上和所述膜片表面（13）的一个区域上，其中，所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的至少两个电极与所述第二覆层（5）接触，其中，与所述第二覆层（5）接触的至少两个电极中的至少一个电极不同于与所述第一覆层（4）接触的至少两个电极，其特征在于，其中，所述第一覆层（4）和所述第二覆层（5）圆形地构造，其中，所述第二覆层（5）完全遮盖所述第一覆层（4）。

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述第一覆层（4）和所述第二覆层（5）中的至少一个覆层是金属氧化物覆层。

3.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其中，至少一个另外的覆层构造在所述第二覆层（5）上和所述膜片表面（13）的一个区域上，其中，所述至少一个另外的覆层中的每个覆层与所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的至少两个电极接触，其中，这些至少两个电极中各有至少一个电极不与另外的覆层接触。

4.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其中，所述第二覆层（5）能够作为过滤器或催化器使用。

5.根据权利要求1或2所述的气体传感器，其中，所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的第一电极（1；101）的第一电极端部（1-2）圆盘形地构造并且所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的不同于所述第一电极（1；101）的电极（2、3；11）的电极端部（2-2、3-2；11-2）圆弧形地围绕所述第一电极（1；101）的所述第一电极端部（1-2）布置，其中，不同于所述第一电极（1；101）的电极（2、3；11）的圆弧形的电极端部（2-2、3-2；11-2）与所述第一电极（1；101）的第一端部具有恒定的间距（d1、d2；d3）。

6.用于气体传感器的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：将能加热的膜片（8）构造在衬底（7）的衬底正面（16）上；将至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）构造在所述膜片（8）的膜片表面（13）上；将第一覆层（4）构造在所述膜片表面（13）上，其中，所述至少三个电极中的至少两个电极与所述第一覆层（4）接触；将第二覆层（5）至少部分地构造在所述第一覆层（4）上和所述膜片表面的一个区域上，其中，所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的至少两个电极与所述第二覆层（5）接触，其中，与所述第二覆层（5）接触的至少两个电极中的至少一个电极不同于与所述第一覆层（4）接触的至少两个电极，其中，所述第一覆层（4）和所述第二覆层（5）圆形地构造，其中，所述第二覆层（5）完全遮盖所述第一覆层（4）；并且在衬底背面（15）上构造槽口（14），由此露出所述膜片（8）的一部分，在该部分上构造有所述第一覆层（4）和所述第二覆层（5）。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其中，所述第一覆层（4）和所述第二覆层（5）中的至少一个覆层是金属氧化物覆层。

8.根据权利要求6或7所述的制造方法，其中，在构造所述第一覆层（4）之前，将所述膜片表面的、位于所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的第一电极（1；101）与所述至少三个电极（1、2、3；11；202；302；101、102、103）中的第二电极（2；102；202；302）之间的区域外部的区域涂覆以疏水的材料。