[发明专利]电弧处理设备及其方法有效
申请号: | 201680009034.4 | 申请日: | 2016-01-26 |
公开(公告)号: | CN107454978B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | P·瓦赫;M·泽莱科斯基 | 申请(专利权)人: | 通快许廷格有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01J37/34;G01R31/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 林金朝;王英 |
地址: | 波兰*** | 国省代码: | 波兰;PL |
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摘要: | 一种电弧处理设备(14)包括:a.电弧检测设备(21),其检测等离子体腔(30)中是否存在电弧;b.电弧能量确定设备(22),其用于确定电弧能量值,所述电弧能量值是对应于当所述等离子体腔(30)中存在所述电弧时被供应到所述等离子体腔(30)的能量的值;c.切断时间确定设备(24),其用于根据所确定的电弧能量值确定切断时间。 | ||
搜索关键词: | 电弧 处理 设备 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电弧处理设备(14),包括a.电弧检测设备(21),其检测等离子体腔(30)中是否存在电弧;b.电弧能量确定设备(22),其用于确定电弧能量值,所述电弧能量值是对应于当所述等离子体腔(30)中存在所述电弧时被供应到所述等离子体腔(30)的能量的值;c.切断时间确定设备(24),其用于根据所确定的电弧能量值确定切断时间(4)。
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