[发明专利]电弧处理设备及其方法

权利要求书

1.一种电弧处理设备(14)，包括

a.电弧检测设备(21)，其检测等离子体腔(30)中是否存在电弧；

b.电弧能量确定设备(22)，其用于确定电弧能量值，所述电弧能量值是对应于当所述等离子体腔(30)中存在所述电弧时被供应到所述等离子体腔(30)的能量的值；

c.切断时间确定设备(24)，其用于根据所确定的电弧能量值确定切断时间(4)。

2.根据权利要求1所述的电弧处理设备，其特征在于，提供输入端(23)以用于接收与等离子体工艺相关的信号。

3.根据前述权利要求的任一项所述的电弧处理设备，其特征在于，提供数据传送装置(26)以用于将电弧检测信号从所述电弧检测设备(21)传送到电源控制装置(27)。

4.一种处理当在等离子体腔(30)中执行等离子体工艺时出现的电弧的方法，所述方法包括以下方法步骤：

a.检测所述等离子体腔(30)中是否存在电弧；

b.确定电弧能量值，所述电弧能量值是对应于当所述等离子体腔(30)中存在电弧时被供应到所述等离子体腔(30)的能量的值；

c.根据所确定的电弧能量值确定切断时间(4)。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，检测所述等离子体腔(30)中是否存在电弧是基于测量并分析由电源设备(10)向所述等离子体腔(30)供应的信号。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在切断时间(4)开始时标识时间点(t3)。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述能量值基于所标识的时间点和供应到所述等离子体腔(30)的信号。

8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述切断时间(4)被连续调节。

9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，基于所确定的能量值和给定系数(n_coef)来确定所述切断时间。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，基于与先前的电弧出现相关的量来确定所述系数(n_coef)。

11.根据前述权利要求4-10的任一项所述的方法，其特征在于，通过向所确定的切断时间添加给定的附加值来确定有效切断时间(4)。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，仅在所确定的切断时间(4)短于参考时间的情况下才向所确定的切断时间(4)添加附加值。

13.根据前述权利要求4-10的任一项所述的方法，其特征在于，选择所述切断时间(4)的开始。

14.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，选择所述有效切断时间。

15.一种电源设备(10)，具有根据前述权利要求1-3的任一项所述的电弧处理设备(14)并具有电源控制装置。

16.一种等离子体系统，具有连接到等离子体腔(30)的电源设备(10)并具有根据前述权利要求1-3的任一项所述的电弧处理设备(14)。