[发明专利]具有改进的透射率的近红外光学干涉滤波器

摘要

干涉滤波器包括层堆叠，其包括多个层，所述多个层至少有：具有添加的氮的非晶氢化硅层(a‑Si:H,N)以及一个或多个介电材料层，例如SiO2，SiOx，SiOxNy，介电材料具有在1.9至2.7的范围内(含端点)的较高的折射率，等等。干涉滤波器被设计为具有在750‑1000nm范围内(含端点)的通带中心波长。在a‑Si:H,N层中添加的氮在通带中提供了改进的透射率，而在具有相当的透射率的a‑Si:H中观察到折射率没有大的降低。与使用SiO2作为低折射率层的类似的干涉滤波器相比，具有1.9至2.7的范围内(含端点)的较高折射率的介电材料层提供了更小的角偏移。

主权项

一种干涉滤波器，包括：层堆叠，包括多个层，所述多个层至少有：加入氮的非晶氢化硅(a‑Si:H,N)层；和一个或多个介电材料层，其具有低于a‑Si:H,N的折射率的折射率。