[发明专利]对准标记、利用其的对准测量方法及半导体装置制造方法有效
| 申请号： | 201680007966.5 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN108351595B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张贤镇;河昊澈;李吉洙 | 申请（专利权）人： | 奥路丝科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G03F1/42;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种对准标记、利用其的对准测量方法及半导体装置制造方法。本发明提供一种对准标记，其确定两个连续的图案层或分别形成于一个层的两个以上的图案间的相对错位，包括：第一对准构造物，其包括一对第一杆及一对第二杆，上述一对第一杆彼此对置，且沿第一方向延伸，上述一对第二杆彼此对置，且沿与第一方向正交的第二方向延伸；以及第二对准构造物，其包括与上述第一杆平行的多对第三杆以及与上述第二杆平行的多对第四杆，且相邻的第三杆之间的间隔不同，相邻的第四杆之间的间隔不同。根据本发明的对准标记，通过使杆之间的间隔不同，最小化了在分析图像时发生的错误。 | ||
| 搜索关键词： | 对准标记 半导体装置 对准测量 方向延伸 构造物 对置 平行 对准 方向正交 分析图像 相对错位 图案层 最小化 制造 图案 | ||
【主权项】：
1.一种对准标记，其确定两个连续的图案层或分别形成于一个层的两个以上的图案间的相对错位，上述对准标记包括：第一对准构造物，其包括一对第一杆及一对第二杆，上述一对第一杆彼此对置，且沿第一方向延伸，上述一对第二杆彼此对置，且沿与第一方向正交的第二方向延伸；以及第二对准构造物，其包括与上述第一杆平行的多对第三杆以及与上述第二杆平行的多对第四杆，且相邻的第三杆之间的间隔不同，相邻的第四杆之间的间隔不同，且上述第三杆与上述第四杆分别沿长度方向分割成多个子杆，上述多个子杆形成在同一层，上述多个子杆包括宽度不同的至少两个子杆，上述子杆分别沿宽度方向分割成多个段杆，相邻的上述子杆分割成不同数量的段杆。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥路丝科技有限公司，未经奥路丝科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680007966.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
