[发明专利]用于处理腔室的灯加热

摘要

提供一种处理腔室，该处理腔室包含连接在一起以限定空间的顶部、底部与侧壁。基板支撑件设置于该空间。该处理腔室进一步包含面向该基板支撑件的一个或多于一个灯头，每一灯头都包括沿着平面设置的灯具布置。该灯具布置由中心与多个同心环形区域所限定。每一环形区域都由内部边缘与外部边缘所限定，且每一环形区域都包含一个或多于一个灯具的三或多于三个定向线。一个或多于一个灯具的每一定向线都具有第一端部，该第一端部线性延伸至第二端部，该第一端部与第二端部绕着该中心以至少10度分开。该第一端部与第二端部两者都位于一个环形区域内。位于相同环形区域内的每一定向线则相距该中心等距离。

主权项

1.一种处理腔室，包括：/n顶部、底部与侧壁，所述顶部、底部与侧壁连接在一起以限定空间；/n基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述空间中；/n一个或多于一个灯头，所述一个或多于一个灯头面向所述基板支撑件，所述一个或多于一个灯头的每一灯头都包括沿着平面设置的灯具布置，其中所述灯具布置由中心与围绕所述中心的多个同心环形区域所限定，每一环形区域都由内部边缘与外部边缘所限定，且每一环形区域都包含灯具的三个或多于三个定向线；其中：/n所述三个或多于三个定向线的每一灯具都包括第一端部，所述第一端部线性延伸至第二端部；/n所述第一端部与第二端部绕着所述中心以至少10度分开；/n所述第一端部与第二端部两者都位于一个环形区域内；/n所述三个或多于三个定向线的所述灯具位于相同环形区域内；并且/n所述三个或多于三个定向线的所述灯具从所述中心等距离定位；以及/n多个额外热源，其中所述多个额外热源的一热源设置于所述三个或多于三个定向线的灯具的每一邻近对的定向线之间。/n