[发明专利]用于处理腔室的灯加热

权利要求书

1.一种处理腔室，包括：

顶部、底部与侧壁，所述顶部、底部与侧壁连接在一起以限定空间；

基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述空间中；

一个或多于一个灯头，所述一个或多于一个灯头面向所述基板支撑件，所述一个或多于一个灯头的每一灯头都包括沿着平面设置的灯具布置，其中所述灯具布置由中心与围绕所述中心的多个同心环形区域所限定，每一环形区域都由内部边缘与外部边缘所限定，且每一环形区域都包含灯具的三个或多于三个定向线；其中：

所述三个或多于三个定向线的每一灯具都包括第一端部，所述第一端部线性延伸至第二端部；

所述第一端部与第二端部绕着所述中心以至少10度分开；

所述第一端部与第二端部两者都位于一个环形区域内；

所述三个或多于三个定向线的所述灯具位于相同环形区域内；并且

所述三个或多于三个定向线的所述灯具从所述中心等距离定位；以及

多个额外热源，其中所述多个额外热源的一热源设置于所述三个或多于三个定向线的灯具的每一邻近对的定向线之间。

2.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述三个或多于三个定向线的每一灯具都包含从所述第一端部延伸至所述第二端部的线性灯具，每一线性灯具都具有在所述第一端部与第二端部之间的两个或多于两个灯丝。

3.如权利要求2所述的处理腔室，其中位于第一环形区域内的所述三个或多于三个定向线的每一灯具中的每一灯丝相对于所述中心都位于与位于所述第一环形区域内的所述三个或多于三个定向线的每一灯具的一个或多于一个其他灯丝为不同的角度位置处。

4.如权利要求3所述的处理腔室，其中所述三个或多于三个定向线的每一灯具都包含三个或多于三个电力终端，而所述三个或多于三个定向线的每一灯具中的每一灯丝都电气连接至与所述三个或多于三个定向线的每一灯具中的其他灯丝相较的至少一个不同电力终端。

5.如权利要求2所述的处理腔室，其中所述三个或多于三个定向线的每一灯具都绕着所述中心从所述第一端部至所述第二端部延伸至少15度。

6.如权利要求2所述的处理腔室，其中所述三个或多于三个定向线的每一灯具都绕着所述中心从所述第一端部至所述第二端部延伸至少30度。

7.如权利要求2所述的处理腔室，其中所述多个同心环形区域包括从三到七个环形区域。

8.如权利要求2所述的处理腔室，其中在第一环形区域中的第一灯具的第一端部相对于所述中心位于与在第二环形区域中的所述三个或多于三个定向线的第二灯具的第一端部相同的角度位置。

9.如权利要求2所述的处理腔室，其中所述额外热源包括：

位于第一环形区域的每一灯具之间一角度位置处的热源，其中每一热源用于发出辐射的表面绕着所述中心延伸小于5度；以及

位于第一环形区域的每一灯具之间一角度位置处的相干辐射源。

10.如权利要求1所述的处理腔室，其中每一定向线都包含沿着从所述第一端部延伸至所述第二端部的线段所设置的三个或多于三个垂直定向灯具，其中每一垂直定向灯具都包含基部及从所述基部朝向所述基板支撑件延伸的灯泡。