[发明专利]TOF距离传感器

摘要

一种TOF距离传感器，用于检测到物体的距离，通过接收由物体反射的辐射，该辐射来自利用调制频率调制的发射源，具有像素矩阵，用于记录像素图像。该像素矩阵由解调像素组成，该解调像素用于在背面接收辐射。解调像素具有转换区域，用于从接收到的辐射产生载流子，以及分隔器件，用于根据调制频率分隔载流子，以及屏障，用于关于载流子将转换区域与分隔器件隔离，以及屏障孔，用于使载流子从转换区域通过进入分隔器件中。TOF距离传感器这样设计，即每至少两个解调像素形成公共的屏障孔。

主权项

1.一种TOF距离传感器(40)，该TOF距离传感器‑用于通过接收由物体反射的辐射(23)检测至该物体(22)的距离，该辐射来自利用调制频率调制的发射源(20)，‑具有像素矩阵(41)，用于记录像素图像，该像素矩阵由解调像素(50)组成，该解调像素用于在背面接收辐射，解调像素分别具有：‑转换区域(60)，用于从接收到的辐射产生载流子(25)，‑分隔器件(70)，用于根据调制频率分隔载流子，‑屏障(80)，所述屏障用于关于载流子将转换区域与分隔器件隔离，以及‑屏障孔(81)，用于使载流子从转换区域通过进入分隔器件中，其中，‑每至少两个解调像素形成公共的屏障孔(82)，其特征在于，‑所述分隔器件包括用于将载流子从转换区域吸引到分隔区域中的漂移栅，以及‑形成公共的屏障孔的解调像素：‑分别形成至少一个公共的漂移栅，具体地，‑分别形成至少一个公共的漂移栅(72)和单独配属的漂移栅(71)，其中单独配属的漂移栅(71)以电隔离的方式与公共的漂移栅(72)交叠，并且单独配属的漂移栅(71)和公共的漂移栅(72)如同单个漂移栅地起作用，其中单独配属的漂移栅被加载比公共的漂移栅更高的电势，从而促使光电子从公共的漂移栅前往单独配属的漂移栅。