[实用新型]一种料架输送机有效
| 申请号: | 201621437227.3 | 申请日: | 2016-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN206451693U | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
| 发明(设计)人: | 李广旭;张吉志;陈志兵;张恒峰 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 汤财宝 |
| 地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及硅片生产技术领域,尤其涉及一种料架输送机,其包括传输单元、驱动单元和小滚轮组件;传输单元的一端安装有所述小滚轮组件,所述小滚轮组件包括位于所述传送带外侧的小滚轮、与所述主动轮轴平行的小滚轮轴和小滚轮挡块,所述小滚轮安装在所述小滚轮轴上,所述小滚轮的上沿与所述传送带位于同一水平位置,所述小滚轮轴的一端连接所述安装板,所述小滚轮轴的另一端连接所述小滚轮挡块。本实用新型提供的料架输送机在传输单元的一端设置小滚轮组件,使其形成平面形式,便于传输线的拼接,小滚轮可使料架输送机直线拼接处运送更加平稳,避免了对接处距离过大,料架容易发生倾覆,损害硅片的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 输送 | ||
【主权项】:
一种料架输送机,其特征在于,包括传输单元、驱动单元和小滚轮组件;所述传输单元包括平行布置且长度相同的两根型材、两条传送带、两对带轮、连接所述驱动单元的主动轮轴和从动轮轴,所述型材的第一端和第二端分别设有主动带轮和从动带轮,所述传送带横跨并缠绕所述主动带轮和所述从动带轮,每根所述型材的第一端均设有安装板,两个所述安装板分别转动连接所述主动轮轴的两端,所述主动带轮安装在所述主动轮轴上,每根所述型材的第二端均设有所述从动轮轴,两个所述从动轮轴上均设有所述从动带轮;两个所述安装板上均安装有所述小滚轮组件,所述小滚轮组件包括位于所述传送带外侧的小滚轮、与所述主动轮轴平行的小滚轮轴和小滚轮挡块,所述小滚轮安装在所述小滚轮轴上,所述小滚轮的上沿与所述传送带位于同一水平位置,所述小滚轮轴的一端连接所述安装板,所述小滚轮轴的另一端连接所述小滚轮挡块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





