[实用新型]一种等离子体刻蚀机的压环有效
| 申请号： | 201621425397.X | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN206558473U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 胡冬冬;侯永刚;李娜;程实然;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司11511 | 代理人： | 袁伟东 |
| 地址： | 221300 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种等离子体刻蚀机的压环，用于将被刻蚀样片固定于下电极，其中，所述压环包括压环主体、定位爪、和样片压足，所述压环主体整体形成为冠状，所述定位爪沿着所述压环主体的周向间隔一定角度而设置并沿径向凸出到压环主体外周，所述样片压足沿周向设置于所述压环主体的内侧并沿径向向所述压环主体的中心凸出，在所述定位爪的每个中设置有用于与垂直导向杆相配合的定位孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种等离子体刻蚀机的压环，用于将被刻蚀样片固定于下电极，其特征在于，所述压环包括压环主体、定位爪、和样片压足，所述压环主体整体形成为冠状，所述定位爪沿着所述压环主体的周向间隔一定角度而设置并沿径向凸出到压环主体外周，所述样片压足沿周向设置于所述压环主体的内侧并沿径向向所述压环主体的中心凸出，在所述定位爪的每个中设置有用于与垂直导向杆相配合的定位孔。
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