[实用新型]一种晶圆背面缺陷检查装置有效
| 申请号： | 201621390608.0 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN206292186U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 顾宁;姚军 | 申请（专利权）人： | 上海精典电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 顾正超 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种晶圆背面缺陷检查装置，包括基座；第一检测组件，设置于所述基座上，用于检查晶圆正面缺陷；第二检测组件，设置于所述基座上，并通过多个夹持装置固定晶圆。本实用新型提出的晶圆背面缺陷检查装置，通过增设的第二检测组件从侧边吸附晶圆边缘，避免了直接吸附晶圆背面造成待检查区域被遮挡的情况发生，对于晶圆背面缺陷的检查影响降低到最小，同时可控制晶圆背面的最大倾角，使得目视观察更加清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背面 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆背面缺陷检查装置，其特征在于，包括：基座；第一检测组件，设置于所述基座上，用于检查晶圆正面缺陷；第二检测组件，设置于所述基座上，并通过多个夹持装置固定晶圆。
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