[实用新型]刚玉‑石墨复合坩埚

摘要

本实用新型为一种刚玉‑石墨复合坩埚，在坩埚壁上从里向外分别是刚玉密封层、石墨层、石墨毯层、刚玉密封层。而在坩埚底部只有刚玉层。石墨层沿径向分成2到8块，每块之间留有缝隙。坩埚壁的外侧绕有水冷通电线圈。本实用新型利用交变电磁场在石墨层中感应出涡流，产生巨大的焦耳热，从而加热硅料。使用温度可以达到1650℃以上，石墨层及石墨毯层被刚玉密封层封闭，大大减缓了其氧化烧损速度，提高了使用寿命。避免在硅液面处的坩埚壁出现很大的温差，防止了热应力使坩埚产生裂纹的问题，进一步提高了使用寿命。

主权项

一种刚玉‑石墨复合坩埚，为一由刚玉密封层(1)构成的有底的筒状坩埚；其特征在于：在坩埚壁中，从里向外设置有紧贴在一起的一圈石墨层(3)和石墨毯层(2)，石墨层(3)和石墨毯层(2)被密封在坩埚壁内；坩埚壁从里向外则形成了刚玉密封层(1)、石墨层(3)、石墨毯层(2)和刚玉密封层(1)的夹层密封结构，而坩埚底部仍仅是刚玉密封层(1)；所述的坩埚壁的外侧绕有水冷通电线圈(4)。