[实用新型]刚玉‑石墨复合坩埚有效
申请号: | 201621373327.4 | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN206318711U | 公开(公告)日: | 2017-07-11 |
发明(设计)人: | 张新军;王桥 | 申请(专利权)人: | 中安信新材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C30B29/06 |
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地址: | 100081 北京市海淀区中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刚玉 石墨 复合 坩埚 | ||
1.一种刚玉-石墨复合坩埚,为一由刚玉密封层(1)构成的有底的筒状坩埚;其特征在于:在坩埚壁中,从里向外设置有紧贴在一起的一圈石墨层(3)和石墨毯层(2),石墨层(3)和石墨毯层(2)被密封在坩埚壁内;坩埚壁从里向外则形成了刚玉密封层(1)、石墨层(3)、石墨毯层(2)和刚玉密封层(1)的夹层密封结构,而坩埚底部仍仅是刚玉密封层(1);所述的坩埚壁的外侧绕有水冷通电线圈(4)。
2.根据权利要求1所述的刚玉-石墨复合坩埚,其特征在于:所述的坩埚壁的厚度范围:35-150mm。
3.根据权利要求1所述的刚玉-石墨复合坩埚,其特征在于:石墨层(3)的厚度范围:5-40mm。
4.根据权利要求1所述的刚玉-石墨复合坩埚,其特征在于:石墨毯层(2)的厚度范围:10-35mm。
5.根据权利要求1或3所述的刚玉-石墨复合坩埚,其特征在于:石墨层(3)分成2到8块,每块之间留有缝隙(5)。
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