[实用新型]一种用于释放惰性元素的电沉积装置有效
| 申请号: | 201621360645.7 | 申请日: | 2016-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN206706230U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
| 发明(设计)人: | 周涛;李真明;黎增祺 | 申请(专利权)人: | 昆山美微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | C25D9/04 | 分类号: | C25D9/04 |
| 代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 | 代理人: | 李静 |
| 地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种用于释放惰性元素的电沉积装置,包括第一电沉积杆、聚合板、调节滑块、第二电沉积杆、调档板、电控箱、显示器、抽离橡胶管、阳极置板、旋紧螺栓、进液口、释放管、溶液、阴极释放瓶、分离管、底座、调节收管、旋紧管、旋转罗盘、校准针。本实用新型的有益效果是该种电沉积装置一侧设有调节滑块,该调节滑块可根据溶液量的大小与浓度调节分离管与释放管使用的长短,便于提高释放惰性元素的精确性;在调节滑块调节完成后用旋紧管使滑块旋紧固定,保证了使用的稳定性;该电沉积装置采用双电沉积杆分别工作,保证了使用的高效性;该电沉积装置操作方便,稳固牢靠,牢固耐用,各构件连接灵活。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 释放 惰性元素 沉积 装置 | ||
【主权项】:
一种用于释放惰性元素的电沉积装置,包括第一电沉积杆(1),其特征在于:所述第一电沉积杆(1)一侧设置聚合板(2),且所述聚合板(2)下方设置调节滑块(3),所述调节滑块(3)一侧设置第二电沉积杆(4),且所述第二电沉积杆(4)下方设置调档板(5),所述调档板(5)下方设置电控箱(6),且所述电控箱(6)一侧设置显示器(7),所述第一电沉积杆(1)上方设置抽离橡胶管(8),且所述抽离橡胶管(8)下方设置阳极置板(9),所述阳极置板(9)一侧设置旋紧螺栓(10),且所述旋紧螺栓(10)下方设置进液口(11),所述进液口(11)下方设置释放管(12),且所述释放管(12)内部设置溶液(13),所述溶液(13)下方设置阴极释放瓶(14),且所述阴极释放瓶(14)上方设置分离管(15),所述阴极释放瓶(14)下方设置底座(16),且所述调节滑块(3)上方设置调节收管(17),所述调节收管(17)下方设置旋紧管(18),且所述调档板(5)上设置旋转罗盘(19),所述旋转罗盘(19)一侧设置校准针(20)。
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