[实用新型]一种用于释放惰性元素的电沉积装置有效
| 申请号: | 201621360645.7 | 申请日: | 2016-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN206706230U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
| 发明(设计)人: | 周涛;李真明;黎增祺 | 申请(专利权)人: | 昆山美微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | C25D9/04 | 分类号: | C25D9/04 |
| 代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 | 代理人: | 李静 |
| 地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 释放 惰性元素 沉积 装置 | ||
1.一种用于释放惰性元素的电沉积装置,包括第一电沉积杆(1),其特征在于:所述第一电沉积杆(1)一侧设置聚合板(2),且所述聚合板(2)下方设置调节滑块(3),所述调节滑块(3)一侧设置第二电沉积杆(4),且所述第二电沉积杆(4)下方设置调档板(5),所述调档板(5)下方设置电控箱(6),且所述电控箱(6)一侧设置显示器(7),所述第一电沉积杆(1)上方设置抽离橡胶管(8),且所述抽离橡胶管(8)下方设置阳极置板(9),所述阳极置板(9)一侧设置旋紧螺栓(10),且所述旋紧螺栓(10)下方设置进液口(11),所述进液口(11)下方设置释放管(12),且所述释放管(12)内部设置溶液(13),所述溶液(13)下方设置阴极释放瓶(14),且所述阴极释放瓶(14)上方设置分离管(15),所述阴极释放瓶(14)下方设置底座(16),且所述调节滑块(3)上方设置调节收管(17),所述调节收管(17)下方设置旋紧管(18),且所述调档板(5)上设置旋转罗盘(19),所述旋转罗盘(19)一侧设置校准针(20)。
2.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述调节收管(17)与所述旋紧管(18)均为圆柱形结构。
3.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述释放管(12)、分离管(15)与所述调节滑块(3)为活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述电控箱(6)与所述显示器(7)为电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述电控箱(6)上方设置若干个调档板(5)。
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