[实用新型]一种用于释放惰性元素的电沉积装置有效

专利信息
申请号: 201621360645.7 申请日: 2016-12-13
公开(公告)号: CN206706230U 公开(公告)日: 2017-12-05
发明(设计)人: 周涛;李真明;黎增祺 申请(专利权)人: 昆山美微电子科技有限公司
主分类号: C25D9/04 分类号: C25D9/04
代理公司: 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 代理人: 李静
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 释放 惰性元素 沉积 装置
【权利要求书】:

1.一种用于释放惰性元素的电沉积装置,包括第一电沉积杆(1),其特征在于:所述第一电沉积杆(1)一侧设置聚合板(2),且所述聚合板(2)下方设置调节滑块(3),所述调节滑块(3)一侧设置第二电沉积杆(4),且所述第二电沉积杆(4)下方设置调档板(5),所述调档板(5)下方设置电控箱(6),且所述电控箱(6)一侧设置显示器(7),所述第一电沉积杆(1)上方设置抽离橡胶管(8),且所述抽离橡胶管(8)下方设置阳极置板(9),所述阳极置板(9)一侧设置旋紧螺栓(10),且所述旋紧螺栓(10)下方设置进液口(11),所述进液口(11)下方设置释放管(12),且所述释放管(12)内部设置溶液(13),所述溶液(13)下方设置阴极释放瓶(14),且所述阴极释放瓶(14)上方设置分离管(15),所述阴极释放瓶(14)下方设置底座(16),且所述调节滑块(3)上方设置调节收管(17),所述调节收管(17)下方设置旋紧管(18),且所述调档板(5)上设置旋转罗盘(19),所述旋转罗盘(19)一侧设置校准针(20)。

2.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述调节收管(17)与所述旋紧管(18)均为圆柱形结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述释放管(12)、分离管(15)与所述调节滑块(3)为活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述电控箱(6)与所述显示器(7)为电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于释放惰性元素的电沉积装置,其特征在于:所述电控箱(6)上方设置若干个调档板(5)。

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