[实用新型]一种超声波辅助电沉积装置有效
申请号: | 201621360613.7 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN206706226U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 周涛;李真明;黎增祺 | 申请(专利权)人: | 昆山美微电子科技有限公司 |
主分类号: | C25D5/20 | 分类号: | C25D5/20;C25D17/00 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种超声波辅助电沉积装置,包括脉冲室、仪表盘、脉冲正极连接管、脉冲负极连接管、电机室、导线管、电磁脉冲发生器、托盘、卡座、超声波发生器、导线、镀液、支撑网、镀槽、脉冲电源、水溶液、超声波接收槽、阳极、阴极。本实用新型提供一种采用超声波辅助电镀的电沉积装置。通过在装置的电机室一侧安装超声波发生器并由导管将声波导向超声波发生槽,通过超声波的作用加速镀槽内部镀液分子的运动速率,从而增加沉积速率,使镀液内部分子沉积到阴极连接的试件上。通过在电机室一侧设置托盘以及卡座,分别用于固定电磁脉冲发生器以及超声波发生器,保证电磁脉冲发生器以及超声波发生器在使用时的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 超声波 辅助 沉积 装置 | ||
【主权项】:
一种超声波辅助电沉积装置,包括脉冲室(1),其特征在于:所述脉冲室(1)一侧安装电磁脉冲发生器(7),且所述电磁脉冲发生器(7)上安装仪表盘(2),所述脉冲室(1)下方设置电机室(5),且所述电机室(5)一侧设置托盘(8),所述托盘(8)下方设置卡座(9),且所述卡座(9)内部安装超声波发生器(10),所述脉冲室(1)内部安装超声波接收槽(17),且所述超声波接收槽(17)内部填充水溶液(16),所述超声波接收槽(17)内部安装支撑网(13),且所述支撑网(13)内部安装镀槽(14),所述镀槽(14)内部填充镀液(12),且所述镀槽(14)内部设置阳极(18),所述阳极(18)一侧设置阴极(19),且所述阳极(18)与所述阴极(19)之间通过导线(11)连接到脉冲电源(15)。
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