[实用新型]一种超声波辅助电沉积装置有效
| 申请号: | 201621360613.7 | 申请日: | 2016-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN206706226U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
| 发明(设计)人: | 周涛;李真明;黎增祺 | 申请(专利权)人: | 昆山美微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | C25D5/20 | 分类号: | C25D5/20;C25D17/00 |
| 代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 | 代理人: | 李静 |
| 地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 超声波 辅助 沉积 装置 | ||
1.一种超声波辅助电沉积装置,包括脉冲室(1),其特征在于:所述脉冲室(1)一侧安装电磁脉冲发生器(7),且所述电磁脉冲发生器(7)上安装仪表盘(2),所述脉冲室(1)下方设置电机室(5),且所述电机室(5)一侧设置托盘(8),所述托盘(8)下方设置卡座(9),且所述卡座(9)内部安装超声波发生器(10),所述脉冲室(1)内部安装超声波接收槽(17),且所述超声波接收槽(17)内部填充水溶液(16),所述超声波接收槽(17)内部安装支撑网(13),且所述支撑网(13)内部安装镀槽(14),所述镀槽(14)内部填充镀液(12),且所述镀槽(14)内部设置阳极(18),所述阳极(18)一侧设置阴极(19),且所述阳极(18)与所述阴极(19)之间通过导线(11)连接到脉冲电源(15)。
2.根据权利要求1所述的一种超声波辅助电沉积装置,其特征在于:所述电磁脉冲发生器(7)通过脉冲负极连接管(4)连接到脉冲室(1)内部的阴极(19),且所述电磁脉冲发生器(7)通过脉冲正极连接管(3)连接到脉冲室(1)内部的阳极(18)。
3.根据权利要求1所述的一种超声波辅助电沉积装置,其特征在于:所述电磁脉冲发生器(7)与所述超声波发生器(10)之间通过导线管(6)内部的导线与所述电机室(5)内部电机呈电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种超声波辅助电沉积装置,其特征在于:所述支撑网(13)上端两侧为挂钩状,且所述支撑网(13)整体为网状结构。
5.根据权利要求1所述的一种超声波辅助电沉积装置,其特征在于:所述卡座(9)之间的宽度与所述超声波发生器(10)直径大小相匹配。
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