[实用新型]一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备

摘要

本实用新型提供一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，包括加工平台、加工头组件以及移动导轨；加工平台上设置有XY方向直线电机高精密运动平台；XY方向直线电机高精密运动平台包括第一方向导轨、第二方向导轨及加工盘；加工头组件包括光路板、至少一个第三方向运动模组以及激光切割头；该第三方向运动模组包括CCD聚焦定位器以及靠近CCD聚焦定位器设置的两个激光光学振镜；光路板上设置有激光发生器、激光扩束器以及若干个控制改变激光传输方向和路线的反光片；本设计实现了多个激光光学振镜、多个激光切割头集成到一套装备上，并且可相互独立工作，互不干扰，在光路中巧妙地布置分光组件和光闸，实现激光波长之间的相互切换，提高加工效率。

主权项

一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：包括加工平台、加工头组件以及设置于加工平台上的移动导轨；所述加工头组件设置于移动导轨上，且能在移动导轨上平行移动；在所述加工平台上设置有XY方向直线电机高精密运动平台；该XY方向直线电机高精密运动平台包括第一方向导轨、第二方向导轨以及放置于第二方向导轨上的加工盘；所述加工盘在沿第二方向导轨直线移动；第二方向导轨连同加工盘一起在第一方向导轨上直线移动；所述加工头组件包括位于移动导轨上侧的光路板、至少一个第三方向运动模组以及激光切割头；该第三方向运动模组包括CCD聚焦定位器以及靠近CCD聚焦定位器设置的两个激光光学振镜；所述光路板上设置有激光发生器、激光扩束器以及若干个控制改变激光传输方向和路线的反光片；激光发生器发出的激光通过激光扩束器后，照射到反光片上，通过反光片反射的激光分为两路传输，一路经过多个反光片反射后到达激光光学振镜部位，另一路经过多个反光片反射后到达激光切割头部位。