[实用新型]一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备

权利要求书

1.一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：包括加工平台、加工头组件以及设置于加工平台上的移动导轨；所述加工头组件设置于移动导轨上，且能在移动导轨上平行移动；

在所述加工平台上设置有XY方向直线电机高精密运动平台；该XY方向直线电机高精密运动平台包括第一方向导轨、第二方向导轨以及放置于第二方向导轨上的加工盘；所述加工盘在沿第二方向导轨直线移动；第二方向导轨连同加工盘一起在第一方向导轨上直线移动；

所述加工头组件包括位于移动导轨上侧的光路板、至少一个第三方向运动模组以及激光切割头；该第三方向运动模组包括CCD聚焦定位器以及靠近CCD聚焦定位器设置的两个激光光学振镜；所述光路板上设置有激光发生器、激光扩束器以及若干个控制改变激光传输方向和路线的反光片；

激光发生器发出的激光通过激光扩束器后，照射到反光片上，通过反光片反射的激光分为两路传输，一路经过多个反光片反射后到达激光光学振镜部位，另一路经过多个反光片反射后到达激光切割头部位。

2.如权利要求1所述的一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：还包括靠近激光切割头设置、用于净化激光加工过程中烟尘的抽尘管以及烟尘净化机；所述烟尘净化机与抽尘管相连。

3.如权利要求1所述的一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：所述第三方向运动模组、激光切割头、第二方向导轨以及加工盘都连接有驱动气缸，由驱动气缸驱动加工盘在第二方向导轨上移动、第二方向导轨连同加工盘一起在第一方向导轨上直线移动、第三方向运动模组和激光切割头的上下移动；

还包括空气压缩装置；所述空气压缩装置与驱动气缸相连通。

4.如权利要求3所述的一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：所述第一方向导轨的行程为800mm，第二方向导轨的行程为500mm，第三方向运动模组和激光切割头的行程为150mm。

5.如权利要求1-4中任意一项权利要求所述的一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：所述加工盘上阵列开设有若干个用于放置待加工物料的物料槽。

6.如权利要求1所述的一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：所述加工平台为大理石平台；加工盘上各加工部位开设有真空吸附开口。

7.如权利要求3所述的一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：所述第三方向运动模组的数量为两个。

8.如权利要求1所述的一种大幅面多激光头超快皮秒激光精密加工装备，其特征在于：还包括用于对激光切割头进行冷却降温处理的激光器冷水机。