[实用新型]电路板外层曝光机导气装置有效
| 申请号： | 201621304929.4 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206193438U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 孙发权 | 申请（专利权）人： | 重庆凯歌电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 重庆信航知识产权代理有限公司50218 | 代理人： | 吴彬 |
| 地址： | 402460 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电路板外层曝光机导气装置，包括玻璃载件平台和麦拉密封盖，所述玻璃载件平台的边部设置有抽气孔，其特征在于所述麦拉密封盖包括边框、设置在边框中的两层麦拉、以及设置在两层麦拉之间的若干块相互平行的铜质导气平板。本实用新型电路板外层曝光机导气装置，通过在两层麦拉之间设置铜质导气平板，铜质导气平板能使麦拉保持平整，在抽真空过程中，能避免麦拉褶皱导致空气不能被快速抽走的问题，无需再通过刮板人工赶气，抽真空效率更高；且抽真空质量更稳定，能避免曝光吸气不良引起的曝光问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电路板 外层 曝光 机导气 装置 | ||
【主权项】：
一种电路板外层曝光机导气装置，包括玻璃载件平台和麦拉密封盖，所述玻璃载件平台的边部设置有抽气孔，其特征在于：所述麦拉密封盖包括边框、设置在边框中的两层麦拉、以及设置在两层麦拉之间的若干块相互平行的铜质导气平板。
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