[实用新型]电路板外层曝光机导气装置有效
| 申请号： | 201621304929.4 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206193438U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 孙发权 | 申请（专利权）人： | 重庆凯歌电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 重庆信航知识产权代理有限公司50218 | 代理人： | 吴彬 |
| 地址： | 402460 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电路板 外层 曝光 机导气 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电路板外层曝光机导气装置，包括玻璃载件平台和麦拉密封盖，所述玻璃载件平台的边部设置有抽气孔，其特征在于：所述麦拉密封盖包括边框、设置在边框中的两层麦拉、以及设置在两层麦拉之间的若干块相互平行的铜质导气平板。
2.根据权利要求1所述的电路板外层曝光机导气装置，其特征在于：所述玻璃载件平台的边部还设置有连接抽气孔的导气槽。
3.根据权利要求1所述的电路板外层曝光机导气装置，其特征在于：所述玻璃载件平台上还设置有定位钉。
4.根据权利要求1所述的电路板外层曝光机导气装置，其特征在于：所述边框的边部设置有密封条。
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