[实用新型]用于研磨装置的研磨头及使用的弹性环以及晶元的研磨装置有效
| 申请号： | 201621301890.0 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206825192U | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 孙准晧 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/34;B24B37/005 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于研磨装置的研磨头及使用的弹性环以及晶元的研磨装置，所述研磨头包括第一本体部，其得到旋转驱动力的传递；第二本体部，其在研磨工艺中形成有将晶元的板面加压于研磨垫的加压面；边缘部，其设置有护环，所述护环在所述研磨工艺中以包裹晶元的周围的一部分以上的形态底面与所述研磨垫相接触，并且所述边缘部从所述第一本体部通过柔性材质的传递部件得到旋转驱动力的传递并进行旋转，所述用于研磨装置的研磨头将在晶元的研磨工艺中进行旋转的研磨头内产生的颗粒最小化，减少研磨头的操作故障，保证更长的耐久寿命，并解决由于颗粒流入至用于使得空气压力供给于压力室的空气压力管而导致压力被扭曲的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 研磨 装置 使用 弹性 以及 | ||
【主权项】：
一种用于研磨装置的研磨头，其特征在于，包括：第一本体部，其得到旋转驱动力的传递；第二本体部，其在研磨工艺中形成有将晶元的板面加压于研磨垫的加压面；边缘部，其设置有护环，所述护环在所述研磨工艺中以包裹晶元的周围的一部分以上的形态底面与所述研磨垫接触，并且所述边缘部从所述第一本体部通过柔性材质的传递部件得到旋转驱动力的传递并进行旋转。
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