[实用新型]用于研磨装置的研磨头及使用的弹性环以及晶元的研磨装置

权利要求书

1.一种用于研磨装置的研磨头，其特征在于，包括：

第一本体部，其得到旋转驱动力的传递；

第二本体部，其在研磨工艺中形成有将晶元的板面加压于研磨垫的加压面；

边缘部，其设置有护环，所述护环在所述研磨工艺中以包裹晶元的周围的一部分以上的形态底面与所述研磨垫接触，并且所述边缘部从所述第一本体部通过柔性材质的传递部件得到旋转驱动力的传递并进行旋转。

2.根据权利要求1所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

所述传递部件是第一弹性环。

3.根据权利要求2所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

所述第一本体部与所述边缘部在相互间被允许的位移为所述第一弹性环的变形量程度。

4.根据权利要求2所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

所述第一弹性环形成有沿着半径方向凸出的多个凸起，并且所述边缘部与所述第一本体部中任意一个以上形成有容纳所述凸起的容纳部，所述第一本体部与所述边缘部中任意一个以上沿着圆周方向与所述凸起产生干涉。

5.根据权利要求2所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

在所述第一本体部还包括结合部件，所述结合部件选择性地结合于所述第一弹性环的上侧，

通过所述结合部件的拆卸，所述第一弹性环成为可向外部脱离的状态。

6.根据权利要求1所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

所述第一本体部包括：

第一-一本体部，其得到旋转驱动力的传递；

第一-二本体部，其相对于所述第一-一本体部沿着圆周方向得到干涉，并与所述第一-一本体部一同旋转，并且所述传递部件固定于所述第一-二本体部。

7.根据权利要求6所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

还包括中心轴，所述中心轴连接于所述第一-一本体部并沿着旋转轴延长，

所述第一-二本体部与所述中心轴相互通过倾斜旋转被允许的倾斜回转部得到连接。

8.根据权利要求7所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

所述第一-一本体部与所述中心轴以使得第一阻尼连接体插入的状态得到连接，从而仅在第一阻尼连接体的变形位移内所述第一-一本体部与所述中心轴的倾斜旋转得到允许。

9.根据权利要求7所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

所述第二本体部与所述中心轴以使得第二阻尼连接体插入的状态得到连接，仅在第二阻尼连接体的变形位移内所述第二本体部与所述中心轴的倾斜旋转得到允许。

10.根据权利要求1至5中任意一项所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

还包括对所述第二本体部与所述边缘部进行连接的第二弹性环。

11.根据权利要求6至9中任意一项所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

还包括对所述第二本体部与所述边缘部进行连接的第二弹性环。

12.根据权利要求10所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

在由所述第一弹性环、所述第二弹性环、所述第一本体部、所述第二本体部包围的区域形成有加压室，并通过所述加压室的压力来整体地加压所述第二本体部。

13.根据权利要求12所述的用于研磨装置的研磨头，其特征在于，

在所述第二本体部形成有加压室，所述加压室在所述加压面的上侧分割为多个并独立地得到压力调节，从而按照各个区域来调节对所述晶元进行加压的加压力。

14.一种在用于研磨装置的研磨头中使用的弹性环，其包括第一本体部、第二本体部、边缘部，所述第一本体部得到旋转驱动力的传递，所述第二本体部在研磨工艺中形成有将晶元的板面加压于研磨垫的加压面，所述边缘部设置有护环，所述护环在所述研磨工艺中以包裹晶元的周围的一部分以上的形态底面与所述研磨垫相接触，并且所述边缘部从所述第一本体部通过传递部件得到旋转驱动力的传递并进行旋转，所述在用于研磨装置的研磨头中使用的弹性环的特征在于，

其宽度规定为对所述第一本体部与所述边缘部进行连接的长度，并形成为环形态，沿着半径方向凸出形成有多个凸起，并辅助来自所述第一本体部的旋转驱动力通过由于所述凸起而产生的干涉来传递至所述边缘部。