[实用新型]复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置有效
| 申请号： | 201621272722.3 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206292465U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 梁洪瑞 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，平行入射光依次经过第一镜片、第二镜片、第三镜片和第四镜片；第二镜片和第三镜片的相对面均设有第一复眼透镜阵列；第一镜片和第四镜片的背离面均设有第二复眼透镜阵列；第一镜片的第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第二镜片的第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；第三镜片的所述第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。解决了现有技术中复眼匀光系统存在LDI曝光时激光器能量分布不均匀的问题，可以实现光线的有效均匀化，使LDI最后曝光时能够获得所需要的均匀能量。 | ||
| 搜索关键词： | 复眼 系统 照明 调节 机构 装置 | ||
【主权项】：
一种复眼匀光系统，其特征在于，包括第一镜片组和第二镜片组，所述第一镜片组包括第二镜片和第三镜片，所述第二镜片组包括第一镜片和第四镜片；平行入射光依次经过所述第一镜片、所述第二镜片、所述第三镜片和所述第四镜片；所述第二镜片的出光面和所述第三镜片的入光面均设有第一复眼透镜阵列；所述第一镜片的入光面和所述第四镜片的出光面均设有第二复眼透镜阵列；所述第一复眼透镜阵列垂直于所述第二复眼透镜阵列；所述第一镜片的所述第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与所述第二镜片的所述第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；所述第三镜片的所述第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与所述第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。
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