[实用新型]复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻直写曝光机及投影显示技术领域，尤其是涉及一种复眼匀光系统、照明调节机构及照明装置。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。由于市面上大多数的印刷电路板(Printed Circuit Board，简称PCB板)都为精密线路，普遍的解析能力达到10-20μm量级，因此激光直接成像(Laser Direct Image，简称LDI)能量的均匀性是影响曝光质量的主要因素，但是，现有技术中的复眼匀光系统存在LDI曝光时激光器能量分布不均匀，进而导致PCB板报废率居高不下的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种复眼匀光系统的光路、照明调节机构及照明装置，以解决现有技术中复眼匀光系统存在的LDI曝光时激光器能量分布不均匀，进而导致PCB板报废率居高不下的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种复眼匀光系统，包括第一镜片组和第二镜片组，第一镜片组包括第二镜片和第三镜片，第二镜片组包括第一镜片和第四镜片；

平行入射光依次经过第一镜片、第二镜片、第三镜片和第四镜片；

第二镜片的出光面和第三镜片的入光面均设有第一复眼透镜阵列；第一镜片的入光面和第四镜片的出光面均设有第二复眼透镜阵列；第一复眼透镜阵列垂直于第二复眼透镜阵列；

第一镜片的第二复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第二镜片的第一复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合；第三镜片的第一复眼透镜阵列中各小透镜的焦点与第四镜片的所述第二复眼透镜阵列中对应的小透镜的光心重合。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，第一复眼透镜阵列的曲率小于第二复眼透镜阵列的曲率。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，第一复眼透镜阵列的曲率为1～2mm，第二复眼透镜阵列的曲率为4.5～5.5mm，优选地，第一复眼透镜阵列的曲率为1.5mm，第二复眼透镜阵列的曲率为5mm。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，第二镜片贴近第一镜片；第三镜片与第二镜片间的距离为3.05～3.25mm，与第四镜片间的距离为4.8～5.2mm；本实施方式中，第三镜片与第二镜片间的距离优选为3.15mm，第三镜片与第四镜片间的距离优选为5.55mm。

结合第一方面及其可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，第一复眼透镜阵列和第二复眼透镜阵列均为柱面镜。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种照明调节机构，包括固定座以及第一方面及其可能的实施方式所述的复眼匀光系统光路，固定座包括第一腔体和第二腔体，第一腔体与第二腔体之间设置有通光孔；

第一腔体内固定有第一镜片和第二镜片；

第二腔体内设有相互垂直的第一导轨和第二导轨，以及沿第一导轨运动的第一滑块，和沿第二导轨运动的第二滑块，第三镜片固定在第一滑块上，第四镜片固定在第二滑块上。

结合第二方面，本实用新型实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中，第一滑块和第二滑块中部设置有透光孔。

结合第二方面，本实用新型实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中，第一导轨包括两平行导轨，第一滑块包括固定第三镜片的镜片腔，镜片腔对称设有沿两平行导轨运动的第一连接部。

结合第二方面，本实用新型实施例提供了第二方面的第三种可能的实施方式，其中，第二导轨包括两平行导轨，第二滑块包括固定第四镜片的镜片腔，镜片腔对称设有沿两平行导轨运动的第二连接部。

第三方面，本实用新型实施例还提供了一种复眼匀光系统的照明装置，包括激光器、准直透镜以及第二方面及其可能的实施方式所述的照明调节机构，激光器发出的光依次经过准直透镜和复眼匀光系统。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：