[实用新型]一种新型芯片清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种新型芯片清洗装置，包括作业柜，作业柜上设置酸槽和水槽，酸槽内设置第一升降置物装置，第一升降置物装置包括第一升降置物架、第一滑轨和第一丝杠，酸槽的底部设置排酸阀；水槽内设置第二升降置物装置，第二升降置物装置包括第二升降置物架、第二滑轨和第二丝杠，水槽的底部设置排水阀；还包括移动置物板和设置在酸槽上的推动装置，当第一升降置物架、第二升降置物架分别上升至酸槽、水槽顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板可以由第一升降置物架移动至第二升降置物架上。本实用新型便于芯片的清洗，无需直接接触芯片和清洗液，提高操作安全性，同时，移动置物板的设置，便于若干个芯片的整体移动清洗，提高工作效率。

主权项

一种新型芯片清洗装置，包括作业柜(1)，其特征是：所述作业柜(1)上设置酸槽(2)和水槽(3)，所述酸槽(2)内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架(21)、第一滑轨(22)和第一丝杠(23)，所述第一滑轨(22)竖直设置于靠近水槽(3)一侧的酸槽(2)内壁上，所述第一丝杠(23)与第一滑轨(22)平行，且位于酸槽(2)内远离水槽(3)的一侧，所述第一丝杠(23)与酸槽(2)转动连接，所述酸槽(2)上设置带动第一丝杠(23)转动的第一电机(24)，所述第一升降置物架(21)的两侧分别设有与第一滑轨(22)相适应的第一滑块(25)和与第一丝杠(23)相适应的第一丝母(26)，所述酸槽(2)的底部设置排酸阀(27)；所述水槽(3)内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架(31)、第二滑轨(32)和第二丝杠(33)，所述第二滑轨(32)竖直设置于靠近酸槽(2)一侧的水槽(3)内壁上，所述第二丝杠(33)与第二滑轨(32)平行，且位于水槽(3)内远离酸槽(2)的一侧，所述第二丝杠(33)与水槽(3)转动连接，所述水槽(3)上设置带动第二丝杠(33)转动的第二电机(34)，所述第二升降置物架(31)的两侧分别设有与第二滑轨(32)相适应的第二滑块(35)和与第二丝杠(33)相适应的第二丝母(36)，所述水槽(3)的底部设置排水阀(37)；还包括移动置物板(4)和设置在酸槽(2)上的推动装置，所述移动置物板(4)的底部设有漏液孔(41)，当第一升降置物架(21)、第二升降置物架(31)分别上升至酸槽(2)、水槽(3)顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板(4)可以由第一升降置物架(21)移动至第二升降置物架(31)上。