[实用新型]一种新型的串级显影槽有效
| 申请号： | 201621206299.7 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN206282080U | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;汪曦凌 | 申请（专利权）人： | 安徽安芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 章登亚 |
| 地址： | 247000 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型的串级显影槽，属于半导体晶圆加工技术领域。包括支架、第一槽、第二槽、第三槽、回收桶和放液阀门，所述支架为阶梯形，第一槽、第二槽、第三槽依次固定在支架第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯上，每一槽上分别安装有放液阀门，且第三槽的放液阀门位于第二槽上方，第二槽的放液阀门位于第一槽上方，所述回收桶放置在第一槽的放液阀门下方。本实用新型实现了串级显影槽溶液间的自动替换，提升了工作效率和产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 显影 | ||
【主权项】：
一种新型的串级显影槽，其特征在于：包括支架、第一槽、第二槽、第三槽、回收桶和放液阀门，所述支架为阶梯形，第一槽、第二槽、第三槽依次固定在支架的第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯上，每一槽上分别安装有放液阀门，且第三槽的放液阀门位于第二槽上方，第二槽的放液阀门位于第一槽上方，所述回收桶放置在第一槽的放液阀门下方。
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