[实用新型]一种新型的串级显影槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆加工技术领域，尤其涉及一种新型的串级显影槽。

背景技术

目前的半导体企业黄光工序的显影基本都是平行放置的二级或者三级的串级显影槽结构，显影作业时，为了提升产品的品质，反应片需要经过多次显影液处理。每次都是从第一槽开始，然后依次经第二槽、第三槽的显影液处理。这样第一槽溶液一般都会先脏，当累计反应片数到达一定的程度时，第一槽的溶液首先报废。然后下一槽溶液可以作为第一次又开始循环利用，这样的结构可以实现显影时溶液的循环利用，节约物料成本，并且由于循环利用而利于环保。

然而现有的串级显影槽结构在实际操作时并不方便，以三级串级显影槽为例，由于每次当第一槽溶液报废时，下一槽溶液就会被当做首次溶液，用烧杯从第二个槽子人工舀到第一个槽子中，从第三个槽子中舀到第二个槽子中，操作及其不便，且在管理时，有时也会因为员工失误没有执行这样的操作，给材料的异常也带来一定的隐患，影响产品的合格率。

实用新型内容

针对现有技术中缺陷与不足的问题，本实用新型提出了一种新型的串级显影槽，实现了串级显影槽溶液间的自动替换，提升了工作效率和产品的合格率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种新型的串级显影槽，包括支架、第一槽、第二槽、第三槽、回收桶和放液阀门，所述支架为阶梯形，第一槽、第二槽、第三槽依次固定在支架的第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯上，每一槽上分别安装有放液阀门，且第三槽的放液阀门位于第二槽上方，第二槽的放液阀门位于第一槽上方，所述回收桶放置在第一槽的放液阀门下方。

进一步的，所述第一槽、第二槽、第三槽材料为不锈钢。

进一步的，所述第一槽、第二槽、第三槽均为方形，且大小相同。

进一步的，所述放液阀门设置在每一槽侧面的下端位置。

进一步的，所述每一槽的底板设置为向下一阶梯倾斜5度。

本实用新型具有如下有益效果：所述串级显影槽通过放液阀门将后一槽的溶液放入到前一槽中，且自动替换彻底，提高了工作效率，也避免了因人工替换溶液不彻底而造成不同槽子间溶液的交叉污染，提升了产品的合格率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

如图所示，一种新型的串级显影槽，包括支架1、第一槽2、第二槽3、第三槽4、回收桶5和放液阀门6，所述支架1为阶梯形，第一槽2、第二槽3、第三槽4依次固定在支架1的第一阶梯、第二阶梯、第三阶梯上，每一槽上分别安装有放液阀门6，且第三槽4的放液阀门6位于第二槽3上方，第二槽3的放液阀门6位于第一槽2上方，所述回收桶5放置在第一槽2的放液阀门6下方。

进一步的，所述第一槽2、第二槽3、第三槽4材料为不锈钢。

进一步的，所述第一槽2、第二槽3、第三槽4均为方形，且大小相同。

进一步的，所述放液阀门6设置在每一槽侧面的下端位置。

进一步的，所述每一槽的底板设置为向下一阶梯倾斜5度。

具体的，本实用新型设计成阶梯型的串级结构，显影作业时，利用重力向下的原理，通过放液阀门的控制，当累计反应片数到达一定的程度时，将第一槽的报废溶液放到回收桶中，使第二槽的溶液自动流到第一槽中，第三槽的溶液自动流到第二槽中，这样一来，操作简单，省时省力，并且可以使不同槽子中溶液替换彻底，避免了在溶液替换中造成不同槽中溶液的交叉污染，提升了产品合格率。