[实用新型]一种用于石墨舟卡点的保护装置有效
| 申请号： | 201621186993.7 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN206134662U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘运宇;王俊;王栩生;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于石墨舟卡点的保护装置，包括设于两端的陶瓷套、以及连接两端陶瓷套的弹性件；当所述弹性件处于自然伸展状态时，保护装置两端的陶瓷套之间的长度大于等于石墨舟相邻石墨片的距离；当所述弹性件处于压缩状态时，保护装置两端的陶瓷套之间的长度小于石墨舟相邻石墨片上的石墨舟卡点之间的间距；所述两端的陶瓷套上均设有与石墨舟卡点配合的凹形槽，当陶瓷套套设于石墨舟卡点上时，使该石墨舟卡点密封于凹形槽内。本实用新型设计了一种专门用于石墨舟卡点的保护装置，在进行饱和工艺前后，都不需要对石墨舟进行拆卸或安装，而可以直接将保护装置装入石墨舟内或从石墨舟内拆除，从而大大节省了安装时间，节约了人力物力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石墨 舟卡点 保护装置 | ||
【主权项】：
一种用于石墨舟卡点的保护装置，其特征在于：包括设于两端的陶瓷套(1)、以及连接两端陶瓷套的弹性件(2)；当所述弹性件处于自然伸展状态时，保护装置两端的陶瓷套之间的长度大于等于石墨舟相邻石墨片的距离；当所述弹性件处于压缩状态时，保护装置两端的陶瓷套之间的长度小于等于石墨舟相邻石墨片上的石墨舟卡点(3)之间的间距；所述两端的陶瓷套上均设有与石墨舟卡点(3)配合的凹形槽，当陶瓷套套设于石墨舟卡点上时，使该石墨舟卡点密封于凹形槽内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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