[实用新型]一种基片清洗篮

摘要

本实用新型公开了一种基片清洗篮，包括篮体，所述篮体包括镂空清洗槽和位于所述篮体的底面且与所述镂空清洗槽相交的横梁，所述横梁向下凸出形成所述篮体的基座。包括一个或一个以上所述篮体，所述篮体的侧面设置有连接部件，所有所述篮体的底面位于同一平面，所述篮体与所述篮体之间通过所述连接部件牢固连接。所述镂空清洗槽呈若干“S”形或反“S”形依次首尾连接的形状、或是呈同心圆或同心口字的形状、或是呈螺旋线渐开或回字渐开的形状。所述镂空清洗槽的侧壁相对篮体底面倾斜设置。本基片清洗篮清洗效果突出、能减少对基片污染、有益清洗后基片干燥、可进行批量清洗、可清洗各长度规格的刚性或柔性基片及对某一侧面有清洁度要求的基片。

主权项

一种基片清洗篮，包括篮体（1），其特征在于：所述篮体（1）包括镂空清洗槽（4）和位于所述篮体（1）的底面且与所述镂空清洗槽（4）相交的横梁（3），所述横梁（3）向下凸出形成所述篮体（1）的基座。