[实用新型]一种基片清洗篮

说明书

技术领域

本实用新型涉及光电技术领域，尤其涉及一种基片清洗篮。

背景技术

公告号CN201913087U的实用新型公开了一种聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，包括把手和一个以上花篮本体，其特征在于：所述把手上设置一个以上卡槽，所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。该实用新型最下面的花篮本体的底面与外界支撑体直接贴合，一则使得清洗作业时基片下方液体流动空间小，影响清洗效果；再则与外界支撑体直接贴合也容易污染花篮本体底面和清洗后的基片；最后花篮本体的底面与外界支撑体直接贴合或悬空，都缺乏良好的残余清洗液流走通道，均不利于干燥基片时残余清洗液的流走。而且，由于把手设置在花篮侧部，整个清洗花篮的平稳性降低，在采用多于一个篮体清洗基片时，容易侧翻。同时，受限于花篮本体的大小，其公开的矩形或正方形浅槽也不适于清洗长尺寸的柔性基片。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种基片清洗篮以实现改善清洗效果、减少对篮体和基片的污染、有益清洗后基片干燥、结构平稳、适于进行批量清洗并可清洗各种长度规格的刚性或柔性基片的基片清洗篮，同时提供一种可着重清洗基片某一侧面的基片清洗篮。

为了解决上述技术问题，本实用新型一种基片清洗篮，包括篮体1，其特征在于：所述篮体1包括镂空清洗槽4和位于所述篮体1的底面且与所述镂空清洗槽4相交的横梁3，所述横梁3向下凸出形成所述篮体1的基座。

进一步，该基片清洗篮还包括提杆2，所述提杆2设置在所述篮体1的中部。

进一步，所述镂空清洗槽4与两个以上所述横梁3相交。

进一步，该基片清洗篮包括一个或一个以上所述篮体1，在所述篮体1的侧面设置有连接部件；当该基片清洗篮包括两个或两个以上所述篮体1时，所有所述篮体1的底面位于同一平面，所述篮体1与所述篮体1之间通过所述连接部件牢固连接。

再进一步，所述连接部件的连接方式可以为插接或者卡接。

再再进一步，所述连接部件为，设置在所述篮体1的侧面的凸出的凸块6和可与所述凸块6牢固插接配合的凹槽7，所述篮体1之间通过其侧面的所述凸块6和所述凹槽7牢固插接配合成一体。所述凸块6可以呈向两侧扩展凸出的形状。所述凸块6可以呈梯形。所述凸块6呈条状，所述凹槽7呈两槽壁平行于篮体1的底面、槽口背向所述侧面的爪形槽。

再再再进一步，所述篮体1的每一侧面可以有至少一个所述凸块6和至少一个所述凹槽7。

再再进一步，所述连接部件为，设置在所述篮体1的侧面且平行于所述侧面的插片8和可与所述插片8牢固插接配合的插槽9。所述插片8的一端固定在所述篮体1的侧面。所述插片8与所述插槽9可以在水平方向插接。

进一步，所述篮体1呈方形或者圆形。

进一步，所述镂空清洗槽4的侧壁5相对篮体1的底面倾斜设置。

再进一步，所述镂空清洗槽4呈若干“S”形或者反“S”形依次首尾连接的形状。

再进一步，所述镂空清洗槽4呈同心圆或者同心口字的形状。

再进一步，所述镂空清洗槽4呈螺旋线渐开或者回字渐开的形状。

本实用新型一种基片清洗篮在使用时，位于篮体1的底面且与镂空清洗槽4相交的横梁3可以承载镂空清洗槽4中的基片，横梁3向下凸出形成篮体1的基座，增大了清洗时基片下方的液体流动空间，有利于下方清洗液的流动，增强清洗效果；同时避免了篮体1的底面与外界支撑体的直接接触，减少了篮体1的底面和基片被污染的几率和程度；再者，横梁3直接接触外界支撑体，可作为干燥时残余清洗液流走的通道，加快基片干燥。当采用提杆2设置在篮体1的中部的结构时，整个清洗篮的平稳性增加，降低了清洗篮侧翻的可能性；清洗篮的篮体1的侧面设置有连接部件，当清洗篮包括两个或两个以上所述篮体1时，所有篮体1的底面均位于同一平面，篮体1与篮体1之间通过所述连接部件牢固连接，可连接多个篮体1，实现基片的批量清洗，提高清洗作业效率，节省清洗液；当采用若干“S”形或者反“S”形依次首尾连接的形状、同心圆或者同心口字的形状以及螺旋线渐开或者回字渐开的形状时，还可以清洗各种长度规格的刚性或柔性基片；当镂空清洗槽4的侧壁5相对篮体1的底面倾斜设置时，可着重清洗基片有清洁度要求、需着重清洗的侧面；根据清洗槽的形状、多个清洗篮连接进行批量清洗的需要或者外部清洗装置的形状等因素，篮体1可选择采用方形或者圆形。

附图说明

图1是一种镂空清洗槽呈若干 “S”形依次首尾连接的形状的清洗篮的主视图

图2是图1所示清洗篮的左视图。