[实用新型]一种钝化层结构及背表面钝化结构的太阳能电池

摘要

本实用新型公开了一种钝化层结构，采用二氧化硅钝化膜、第一氮化硅钝化膜、第二氮化硅钝化膜、氮氧化硅钝化膜组成的叠层钝化膜结构，从而克服了氮化硅钝化膜的界面缺陷密度高和硅氢键不稳定的缺点，解决了二氧化硅钝化膜金属离子阻挡能力差，易吸附水气，光的减反效果不好等缺点。提高了太阳能电池抗PID的效果。其中，氮氧化硅是介于氮化硅和二氧化硅间的一种物质，其折射率可在1.47(SiO2)～2.3(SiNx)之间。优化制膜工艺形成富氮的SiOxNy薄膜，结构与性能上趋向SiNx膜保留了SiO2的膜部分优点，提高了薄膜的物理与电学性能，可以使晶体硅的转化效率提高0.2％。并且本实用新型采用双层结构的二氧化硅钝化膜，能进一步提高其金属离子的阻挡能力及光的减反效果。

主权项

一种钝化层结构，其特征在于，包括：二氧化硅钝化膜，沉积在一晶体硅衬底上；第一氮化硅钝化膜，沉积在所述二氧化硅钝化膜上；第二氮化硅钝化膜，沉积在所述第一氮化硅钝化膜上；氮氧化硅钝化膜，沉积在所述第二氮化硅钝化膜上。