[实用新型]一种具有自动吹气系统的机台

摘要

本实用新型公开了一种具有自动吹气系统的机台，该具有自动吹气系统的机台包括剥离装置、工作台和自动吹气系统。自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴。本实用新型的具有自动吹气系统的机台能够在每一片晶圆撕膜完成后都对工作台进行自动吹气清洁，能够及时、准确、高效的清洁机台的工作台，杜绝了晶圆因工作台上残留物而产生的报废，而且由于吹气系统是机械自动化装置，节约了人力成本，省时省力。

主权项

一种具有自动吹气系统的机台，其特征在于，包含：剥离装置，所述剥离装置包括用于撕下晶圆的保护膜的撕膜滚轮；工作台，所述工作台设置在所述剥离装置下方，用于放置所述晶圆；自动吹气系统，所述自动吹气系统包括传感器、继电器、电磁阀、CDA管路和气嘴；所述传感器设置在所述剥离装置后部；所述继电器与所述传感器通过电路相连；所述继电器与所述电磁阀通过电路相连，并且所述继电器用于接通或断开所述电磁阀；所述电磁阀一侧连接到所述CDA管路，所述电磁阀另一侧连接到所述气嘴；所述CDA管路用于输送压缩干燥空气，并且当所述电磁阀接通时所述压缩干燥空气可以通过所述CDA管路从所述气嘴中吹出；所述气嘴设置在所述工作台上方用于向所述工作台吹扫所述压缩干燥空气。