[实用新型]一种用于MEMS微结构动态特性测试的低温环境加载装置有效
| 申请号： | 201621125645.9 | 申请日： | 2016-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN206074211U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 佘东生;杨一柳;魏泽飞;于震;赵辉 | 申请（专利权）人： | 渤海大学 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02;G01M13/00 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的低温环境加载装置，它有一个密闭的外腔体，在外腔体一侧设有真空接头，用于对外腔体内部抽真空；在外腔体内底面安装有隔热板，在隔热板上设有内腔体，在内腔体底面的安装孔内固设有多个半导体热电制冷片，在内腔体顶面的安装孔内设有压电陶瓷，在内腔体顶面固定有十字弹簧片，十字弹簧片压在压电陶瓷顶面，在十字弹簧片上设有MEMS微结构。有益效果是温度控制效果好，降温过程平稳；通过真空接头可对外腔体内部抽真空，使外腔体内的水蒸气含量极低，使微结构表面不会出现结霜现象，提高了测试的精度，解决了在低温环境下对MEMS微结构激励的难题，可在低温环境下实现对MEMS微结构的激振。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 微结构 动态 特性 测试 低温 环境 加载 装置 | ||
【主权项】：
一种用于MEMS微结构动态特性测试的低温环境加载装置，其特征是：它有一个密闭的外腔体，在外腔体一侧设有真空接头，用于对外腔体内部抽真空；在外腔体内底面安装有隔热板，在隔热板上设有内腔体，在内腔体底面的安装孔内固设有多个半导体热电制冷片，在内腔体顶面的安装孔内设有压电陶瓷，在内腔体顶面固定有十字弹簧片，十字弹簧片压在压电陶瓷顶面，在十字弹簧片上设有MEMS微结构。
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