[实用新型]一种用于MEMS微结构动态特性测试的低温环境加载装置有效
| 申请号： | 201621125645.9 | 申请日： | 2016-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN206074211U | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 佘东生;杨一柳;魏泽飞;于震;赵辉 | 申请（专利权）人： | 渤海大学 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02;G01M13/00 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 微结构 动态 特性 测试 低温 环境 加载 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于渤海大学，未经渤海大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621125645.9/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
