[实用新型]一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置有效
| 申请号： | 201621062764.4 | 申请日： | 2016-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN206276917U | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 朱开贵;连紫薇;苟成玲 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学;中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | B22F9/14 | 分类号： | B22F9/14;G01N1/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其包括真空室、圆柱空心阴极、钨针阳极、样品台、直流脉冲电源，所述真空腔室上开设有真空测试口、进气口、排气口、电源口、观察窗，其中所述真空测试口连接真空计；所述进气口通过进气阀门连接氦或氘气瓶；所述排气口通过法兰连接分子泵及机械泵；所述真空腔室内部中空，冷却水填充整个腔室侧壁，进行循环冷却。所述阳极通过螺柱及带孔横梁连接固定，所述脉冲直流电源通过电法兰连接阳极，通过钼丝导线连接阴极。本实用新型模拟制备在等离子体环境中具有氘氚滞留的钨粉尘，为研究托卡马克中钨粉尘的基本特性及氘氦滞留提供实验途径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 粉尘 空心 阴极 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，包括真空室、圆柱空心阴极、钨针阳极、样品台、直流脉冲电源，所述真空室上开设有真空测试口、进气口、排气口、电源口、观察窗，其中所述真空测试口连接真空计；所述进气口通过进气阀门连接氦或氘气瓶；所述排气口通过法兰连接分子泵及机械泵；所述真空室内部中空，冷却水填充整个腔室侧壁，进行循环冷却；所述阳极通过螺柱及带孔横梁连接固定，所述脉冲直流电源通过电极法兰连接阳极，通过钼丝导线连接阴极。
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