[实用新型]一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置

权利要求书

1.一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，包括真空室、圆柱空心阴极、钨针阳极、样品台、直流脉冲电源，所述真空室上开设有真空测试口、进气口、排气口、电源口、观察窗，其中所述真空测试口连接真空计；所述进气口通过进气阀门连接氦或氘气瓶；所述排气口通过法兰连接分子泵及机械泵；所述真空室内部中空，冷却水填充整个腔室侧壁，进行循环冷却；所述阳极通过螺柱及带孔横梁连接固定，所述脉冲直流电源通过电极法兰连接阳极，通过钼丝导线连接阴极。

2.根据权利要求1所述的一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其特征在于：所述真空室为圆柱型不锈钢真空室，内径为30cm,高度为30cm。

3.根据权利要求2所述的一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其特征在于：所述真空室上部通过进气阀连接质量流量计，经三通分别连接氦气瓶和氘气瓶。

4.根据权利要求3所述的一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其特征在于：所述真空室侧面连接分子泵，分子泵通过插板阀及前级阀连接机械泵，所述分子泵满转为27000转，极限真空优于10^-5Pa。

5.根据权利要求4所述的一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其特征在于：所述真空室下部通过预抽阀门连接机械泵，所述机械泵的抽速为8L/S，极限真空为10^-1Pa。

6.根据权利要求1所述的一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其特征在于：所述圆柱空心阴极为纯钨材料，内径为20mm，壁厚5mm，高50mm，钨管外套有内径为21mm，壁厚3mm，50mm的刚玉绝缘陶瓷管。

7.根据权利要求1所述的一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其特征在于：所述钨针阳极通过对称螺纹杆与带孔横梁连接固定，钨针的直径2mm，长度为15mm。

8.根据权利要求1所述的一种制备钨粉尘的空心阴极等离子体装置，其特征在于：所述样品台所述样品台为直径为20cm,布满螺纹孔的不锈钢底托。