[实用新型]一种智能节能的半导体研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种智能节能的半导体研磨装置,包括装置本体、第一电动机、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、第二研磨石、第二电动伸缩杆、第二电动机、风能发电机、太阳能电池板、电气箱、第一频率控制器、第二频率控制器、第一变速控制器、第二变速控制器和第三变速控制器，所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述装置本体上设置有太阳能电池板和风能发电机。该实用新型的有益效果是智能化程度高，工作效率高和节能环保，并能保证清洁能源的充分供应。

主权项

一种智能节能的半导体研磨装置,包括研磨装置本体（1）、第一电动机（2）、研磨液储存桶（3）、第一电动伸缩杆（4）、第一研磨石（5）、研磨载料台（6）、第三电动机（7）、钢化玻璃窗（8）、安全防护门（9）、第二研磨石（10）、折页（11）、第二电动伸缩杆（12）、轴承（13）、第二电动机（14）、注料漏斗（15）、支撑柱（16）、风能发电机（17）、太阳能电池板（18）、电气箱（19）、第一频率控制器（20）、第二频率控制器（21）、第一变速控制器（22）、第二变速控制器（23）、第三变速控制器（24）、滴定管（25）和开关阀门（26），其特征在于：所述研磨装置本体（1）的左上端与第一电动机（2）固定连接；所述第一电动机（2）的转动端通过轴承（13）与第一电动伸缩杆（4）的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆（4）的伸缩杆端部与第一研磨石（5）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右上端与第二电动机（14）固定连接；所述第二电动机（14）的转动端通过轴承（13）与第二电动伸缩杆（12）的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆（12）的伸缩杆端部与第二研磨石（10）的中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的中上端与研磨液储存桶（3）固定连接；所述研磨液储存桶（3）的下端与滴定管（25）的上端连接；所述研磨装置本体（1）的内部下端与第三电动机（7）固定连接；所述第三电动机（7）的转动端通过轴承（13）与研磨载料台（6）中间固定连接；所述研磨装置本体（1）的右端设置有安全防护门（9）；所述安全防护门（9）通过折页（11）与研磨装置本体（1）铰接；所述装置本体（1）的右上端通过支撑柱（16）与太阳能电池板（18）固定连接；所述装置本体（1）的左上端通过支撑柱（16）与风能发电机（17）固定连接；所述装置本体（1）的下端与电气箱（19）固定连接；所述电气箱（19）的内部从左到右依次固定有第一频率控制器（20）、第二频率控制器（21）、第一变速控制器（22）、第二变速控制器（23）和第三变速控制器（24）；所述第一频率控制器（20）与第一电动伸缩杆（4）电性连接；所述第二频率控制器（21）与第二电动伸缩杆（12）电性连接；所述第一变速控制器（22）与第一电动机（2）电性连接；所述第二变速控制器（23）与第二电动机（14）电性连接；所述第三变速控制器（24）与第三电动机（7）电性连接。